Prionsabal braite micrea-chur isteach ar mhicrea-topagrafaíocht dromchla agus stádas forbartha an mhicreascóp trasnaíochta
(1) Athruithe ar raon feidhme an iarratais Léirítear an t-éileamh is luaithe maidir le topagrafaíocht mhicreascópach dromchla a bhrath i rialú cúramach ar lubrication, cuimilte agus caitheamh sa tionscal innealra. Le forbairt go mear ar go leor disciplíní teorann, tá raon feidhme an éilimh seo leathnaithe go optaic X-gha, tionscal faisnéise diosca optúil, micrileictreonaic, fisic léasair ardráta agus go leor réimsí eile;
(2) Sular athraigh comhdhéanamh na hionstraime, d'úsáid an tástálaí micrea-mhoirfeolaíocht dromchla an cineál stylus, a bhí den chineál meicniúil agus leictreach; toisc gur cuireadh na ceanglais maidir le tástáil neamh-millteach ardchruinneas chun cinn i go leor réimsí, tugadh isteach feistí nua agus prionsabail nua. Tá an ionstraim optúil agus meicniúil, leictreachas, ríomh cineál comhcheangailte;
(3) Tá teacht chun cinn leanúnach na bprionsabal nua le sonrú go príomha sna:
Ciallaíonn teacht chun cinn foirmeacha nua trasnamhéadair an fhorbairt ó na foirmeacha aitheanta Fizeau, Linnik, agus Michelson go dtí an cineál nua Mirau. Tá struchtúr dlúth ag an gcineál seo idirferometer agus feidhmíocht frith-chur isteach maith. Is é an príomhfhoirm idirferometer atá oiriúnach don phrionsabal tástála nua VSI agus FDA. Creideann an t-údar gur gá an dá phointe seo a leanas a mheas nuair a bhíonn micreascóp Mirau á fhorbairt: (1) Chun achar oibre áirithe a áirithiú, ní mór é a dhearadh go speisialta; (2) Níor cheart go mbeadh tiús an scoilteoir bhíoma, an pláta cúitimh, agus an pláta caighdeánach mór, go ginearálta μm nó níos lú ná μm Dá bhrí sin, tá na ceanglais maidir le roghnú ábhar agus sciath ard. Tá foirmeacha eile de Dyson agus Normarski le cosán optúil coitianta. I gcomparáid le foirmeacha eile cosúil le Dyson agus Normarski, tá an micreascóp trasnaíochta cosán optúla scoilte éasca le cruinneas a fheabhsú mar gheall ar úsáid a bhaint as dromchla caighdeánach ard-chruinneas, ach tá ceanglais dhian aige maidir le coinníollacha comhshaoil (cosúil le teocht, creathadh, etc. .), agus úsáidtear é go ginearálta i saotharlanna nó i roinn méadreolaíochta Caighdeánach; nach bhfuil micreascóp trasnaíochta cosáin optúla coitianta íogair do chur isteach seachtrach ar nós creathadh meicniúil agus athrú teochta, agus tá sé oiriúnach le haghaidh iniúchta ar líne sa cheardlann.
Chomh maith le tabhairt isteach an phrionsabail nua um trasnaíocht aistrithe céime (PSI) i réimse na tástála trasnaíochta, tá prionsabail tástála nua tagtha chun cinn, chomh maith le prionsabail nuashonraithe anailíse fearainn-minicíochta (FDA) agus prionsabail trasnaíochta scanadh ingearach (VSI). . I gcomparáid le prionsabal na trasnaíochta aistrithe céime, is féidir leis an FDA agus VSI deireadh a chur le débhríocht na geansaithe céime, agus tá siad oiriúnach do riachtanais tástála na gcromáin agus na gcéimeanna i réimsí na tionscail faisnéise micrea-leictreonaic agus diosca optúla; i gcomparáid le FDA agus VSI, tá ráta úsáide sonraí ag an modh tomhais iarchéime Is féidir le cruinneas ard, ard-chruinneas, deireadh a chur le aberration crómatach an chórais optúla idirferometer, etc., tá na míbhuntáistí seo a leanas ag an dara ceann chomh maith le húsáid sonraí íseal: (1) Toisc go mbíonn tionchar ag torann randamach ar an gcodarsnacht go héasca, bíonn an earráid randamach uaireanta mór:; (2 ) go bhfuil codarsnacht bainteach le dáileadh déine speictreach na foinse solais bán, agus mar sin tá na ceanglais maidir le cobhsaíocht déine speictreach na foinse solais bán sách ard.
(4) Glacann an t-athrú foinse solais prionsabal na trasnaíochta solais bán bunaithe ar an gcosán comhionann optúil. I gcomparáid leis an bhfoinse solais léasair, is féidir leis an bhfoinse solais lastais deireadh a chur leis an torann sna himill trasnaíochta agus díriú go cruinn ar an dromchla tomhaiste, agus féadann sé fadhb na n-aistrithe céime doiléir a réiteach. Tá sé oiriúnach le haghaidh micrea-optics agus micrileictreonaic le raon tomhais mór agus ceanglais Tástála cruinneas níos airde.
