Prionsabal oibre micreascópachta fórsa adamhach agus a fheidhmchláir
Is micreascóp taiscéalaithe scanadh é micreascóp fórsa adamhach a forbraíodh ar bhunphrionsabal an mhicreascóp tollánaithe a scanadh. Níl aon amhras ach go raibh ról tiomána ag teacht chun cinn micreascópacht fórsa adamhach i bhforbairt na nanaitheicneolaíochta. Téarma ginearálta é micreascópacht taiscéalaithe scanadh, arna léiriú ag micreascópacht fórsa adamhach, do shraith micreascóip a úsáideann taiscéalaí beag chun scanadh a dhéanamh thar dhromchla sampla, rud a sholáthraíonn ard-bhreithnithe méadaithe. Soláthraíonn scananna AFM faisnéis faoi staid dhromchla cineálacha éagsúla samplaí. I gcomparáid le micreascóip traidisiúnta, is é an buntáiste a bhaineann le AFM ná gur féidir é a úsáid chun dromchla sampla a urramú ag ardmhéadú faoi choinníollacha atmaisféaracha, agus is féidir é a úsáid le haghaidh beagnach gach sampla (le ceanglais áirithe maidir le críochnú dromchla) gan aon ghá le haon. ullmhúchán samplach eile chun íomhá thopagrafach tríthoiseach den dromchla samplach a fháil. Is féidir an íomhá scanadh 3D a úsáid le haghaidh ríomh garbh, tiús, leithead céim, plota bosca nó anailís gráinneach.
Is féidir le micreascóip fórsa adamhach scrúdú a dhéanamh ar go leor samplaí, ag soláthar sonraí le haghaidh staidéir dromchla agus rialú táirgeachta nó forbairt próisis nach féidir le gnáthmhéadair gharbháin dromchla scanadh agus micreascóip leictreoin a sholáthar.
Bunphrionsabal
Úsáideann micreascópacht an fhórsa adamhaigh an fórsa idirghníomhaíochta (fórsa adamhach) idir dromchla an tsampla tástála agus barr mín taiscéalaithe chun topagrafaíocht an dromchla a thomhas.
Tá barr an taiscéalaithe ar cheantíléar bremsstrahlung beag, agus nuair a théann an taiscéalaí i dteagmháil le dromchla an tsampla, braitear an t-idirghníomhú dá bharr i bhfoirm sraonadh cantilever. Tá an fad idir an dromchla samplach agus an probe níos lú ná 3-4 nm, agus an fórsa a bhraitear eatarthu, níos lú ná 10-8 N. Tá an solas ón dé-óid léasair dírithe ar chúl an cantilever. De réir mar a lúbann an cantilever faoin bhfórsa, déantar an solas frithchaite a shraonadh, ag baint úsáide as uillinn sraonaidh fóta-bhraite beagán íogair. Ansin déanann ríomhaire na sonraí a bhailítear a phróiseáil chun íomhá tríthoiseach den dromchla samplach a fháil.
Déantar taiscéalaí cantilever iomlán, a chuirtear ar an dromchla samplach faoi rialú scanóir piezoelectric, a scanadh i dtrí threoir i gcéimeanna de 0.1 nm nó níos lú ag leibhéal cruinnis. Go ginearálta, coinnítear díláithriú an cantilever seasta faoi ghníomhaíocht Z-ais an rialaithe aiseolais mar go bhfuil an dromchla samplach scuabtha go mion (XY-ais). Mar fhreagra ar an scanadh is é an t-aiseolas luach Z-ais ionchur sa phróiseáil ríomhaire, a eascraíonn i breathnú ar an íomhá dromchla sampla (íomhá 3D).
Gnéithe de Mhicreascóip Fhórsa Adamhach
1. Tá cumas ardtaifigh i bhfad níos mó ná an micreascóp leictreon scanadh (SEM), chomh maith le hionstraim roughness optúil. Sonraí tríthoiseach ar an dromchla samplach chun freastal ar riachtanais taighde, táirgeadh, cigireacht cáilíochta micreascópacha níos mó agus níos mó.
2. Fórsa idirghníomhaíochta dromchla neamh-millteach, taiscéalaí agus sampla de 10-8N nó níos lú, i bhfad níos lú ná an brú ionstraimí roughness stylus roimhe seo, mar sin ní dhéanfar aon damáiste don sampla, níl aon scanadh leictreon micreascóp leictreon bhíoma damáiste. Ina theannta sin, éilíonn an micreascóp leictreon scanadh samplaí neamhsheoltach a bheith brataithe, cé nach bhfuil gá leis an micreascóp fórsa adamhach.
3. Is féidir raon leathan d'iarratais, a úsáid le haghaidh breathnóireachta dromchla, cinneadh méid, cinneadh roughness dromchla, anailís granularity, protrusions agus claiseanna na próiseála staidrimh, meastóireacht a dhéanamh ar choinníollacha foirmithe scannán, méid na ciseal cosanta de chinneadh an céim, an interlayer meastóireacht Maoile scannán inslithe, meastóireacht sciath VCD, meastóireacht ar chóireáil cuimilte ar phróiseas scannán treorach, anailís lochtanna.
4. Feidhmeanna próiseála bogearraí láidre, taispeánann a íomhá tríthoiseach a mhéid, is féidir uillinn féachana, dath taispeána, snasta a shocrú go saor. Agus is féidir leis an líonra, comhrian, taispeáint líne a roghnú. Bainistíocht macra ar phróiseáil íomhá, cruth an ailt agus anailís garbh, anailís mhoirfeolaíoch agus feidhmeanna eile.
