Prionsabal agus struchtúr scanadh micreascóp leictreon
Scanadh micreascóp leictreon, is é an t-ainm iomlán scanadh micreascóp leictreon, Béarla scanadh micreascóp leictreon (SEM), ionstraim optúil leictreonach a úsáidtear chun breathnú ar an struchtúr dromchla na rudaí.
1. Prionsabal scanadh micreascóp leictreon
Tá monarú leictreoin scanadh micreascóip bunaithe ar idirghníomhaíocht leictreon le hábhar. Nuair a bhuaileann léas leictreoin daonna ardfhuinnimh dromchla ábhair, táirgeann an réigiún excitation leictreoin tánaisteacha, leictreoin Auger, X-ghathanna tréithiúla agus X-ghathanna leanúnacha, leictreoin backscattered, leictreoin tarchurtha, agus radaíocht leictreamaighnéadach sa ultraivialait infheicthe. , agus réigiúin infridhearg. . Ag an am céanna, is féidir péirí leictreon-poll, creathadh laitíse (fónóin), agus ascaluithe leictreon (plasmóin) a ghiniúint freisin. Mar shampla, is féidir le bailiú leictreon tánaisteach agus leictreoin backscattered faisnéis a fháil ar mhoirfeolaíocht mhicreascópach an ábhair; is féidir le bailiú X-ghathanna faisnéis a fháil faoi chomhdhéanamh ceimiceach an ábhair. Oibríonn scanadh micreascóip leictreoin trí shampla a scanadh le léas leictreoin thar a bheith mín, leictreoin thánaisteacha spreagúla ar dhromchla an tsampla. Bailíonn an brathadóir na leictreoin den chéad ordú, déantar iad a thiontú go comharthaí optúla ag an scintillator ann, agus ansin iad a thiontú go comharthaí leictreacha ag feadáin photomultiplier agus aimplitheoirí, a rialaíonn déine an bhíoma leictreon ar an scáileán fosfair, agus an íomhá scanadh a thaispeáint. i sioncrónú leis an léas leictreon. Is íomhánna tríthoiseach iad na híomhánna a léiríonn struchtúr dromchla an eiseamail.
2. Struchtúr scanadh micreascóp leictreon
(1) Bairille lionsa
Áirítear leis an bairille lionsa an gunna leictreon, lionsa comhdhlúthadán, lionsa oibiachtúil agus córas scanadh. Is é an ról atá aige ná léas leictreon fíor-mhín a ghiniúint (thart ar chúpla nanaiméadar ar trastomhas) a scanadh ar dhromchla an tsampla agus comharthaí éagsúla á spreagadh ag an am céanna.
(2) Córas fála agus próiseála comhartha leictreonach
Sa seomra samplach, idirghníomhaíonn an léas leictreon scanadh leis an sampla chun éagsúlacht de chomharthaí a ghiniúint, lena n-áirítear leictreoin tánaisteacha, leictreoin backscattered, X-ghathanna, leictreoin absorbed, Rúisis (Auger) leictreoin, agus níos mó. I measc na gcomharthaí thuasluaite, is iad na cinn is tábhachtaí ná leictreoin thánaisteacha, ar leictreoin sheachtracha iad atá corraithe ag leictreoin theagmhasacha sna hadaimh shamplacha, agus a ghintear sa réigiún roinnt nanaiméadar go dtí na deich nanaiméadar faoi dhromchla an tsampla. Déantar an ráta giniúna a chinneadh go príomha ag moirfeolaíocht agus comhdhéanamh an tsampla. Tagraíonn íomhá scanadh micreascóp leictreon de ghnáth don íomhá leictreon tánaisteach, arb é an comhartha leictreonach is úsáidí chun staidéar a dhéanamh ar thopagrafaíocht dromchla an tsampla. Is é an scintillator an brathadóir a bhraitheann na leictreoin tánaisteacha. Nuair a bhuaileann na leictreoin an scintillator, gintear solas sa scintillator. Tarchuirtear an solas seo tríd an bpíobán solais chuig an bhfeadán photomultiplier, a athraíonn an comhartha solais isteach i comhartha reatha, a chuirtear ar aghaidh ansin trí Preamplification agus aimpliú físe an comhartha reatha a thiontú ina chomhartha voltais, a sheoltar chuig greille an tsrutha ar deireadh. feadán pictiúr.
(3) Córas taispeána agus taifeadta comhartha leictreonach
Taispeántar íomhánna scanta micreascóp leictreon ar fheadán ga-chatóideach (feadán pictiúir) agus taifeadtar iad le ceamara. Tá dhá chineál feadáin pictiúr ann, úsáidtear ceann amháin le haghaidh breathnóireachta agus tá réiteach níos ísle aige agus is feadán fada afterglow; úsáidtear an ceann eile le haghaidh taifeadadh fótagrafach agus tá taifeach níos airde aige agus is feadán gearr afterglow é.
(4) Córas folúis agus córas soláthair cumhachta
Is éard atá i gcóras bhfolús an mhicreascóp leictreon scanadh ná caidéal meicniúil agus caidéal idirleathadh ola. Soláthraíonn an córas soláthair cumhachta an chumhacht shonrach a theastaíonn ó gach comhpháirt.
3. An cuspóir a bhaineann le micreascóp leictreon a scanadh
Is í an fheidhm is bunúsaí a bhaineann le scanadh micreascóip leictreon ná breathnú ar dhromchlaí samplaí soladacha éagsúla ag ardtaifeach. Is gné iad íomhánna mór-doimhneachta allamuigh de scanadh breathnuithe ar mhicreascóp leictreon, mar: bitheolaíocht, luibheolaíocht, geolaíocht, miotalóireacht, etc. Is féidir le breathnuithe a bheith ina dromchlaí samplacha, ina ndromchlaí gearrtha nó ina dtrasghearrthacha. Tá metallurgists sásta dromchlaí pristine nó caite a fheiceáil go díreach. Déan staidéar go héasca ar dhromchlaí ocsaíd, fás criostail nó lochtanna creimeadh. Ar thaobh amháin, is féidir leis struchtúr fíneáil páipéir, teicstílí, adhmaid nádúrtha nó próiseáilte a scrúdú níos dírí, agus is féidir le bitheolaithe é a úsáid chun staidéar a dhéanamh ar struchtúr samplaí beaga leochaileacha. Mar shampla: cáithníní pailine, diatóim agus feithidí. Ar an láimh eile, is féidir é a ghlacadh pictiúir tríthoiseach a fhreagraíonn do dhromchla an tsampla. Tá raon leathan iarratas ag micreascópacht leictreon scanadh i staidéar a dhéanamh ar ábhair sholadach, agus tá sé inchomparáide le hionstraimí eile. Le haghaidh tréithriú iomlán na n-ábhar soladach, scanadh micreascópacht leictreon.
