Úsáidí agus gnéithe de mhicreascópacht leictreoin tarchurthaÚsáidí agus gnéithe de mhicreascópacht leictreoin tarchurtha
Is micreascóp ardtaifigh é micreascóp leictreon tarchurtha (TEM) a úsáidtear chun struchtúr inmheánach sampla a bhreathnú. Úsáideann sé léas leictreoin chun sampla a threáitear agus chun íomhá theilgthe a fhoirmiú, a léirmhínítear agus a anailísítear ansin chun micreastruchtúr an tsampla a nochtadh.
1. Foinse Leictreonaic
Úsáideann TEM léas leictreon seachas léas solais. Úsáideann an tsraith Talos micreascóp leictreon tarchurtha atá feistithe ag Jifeng Electronics MA Lab gunna leictreon gile ultra-ard, agus úsáideann an micreascóp leictreon tarchurtha aberration sféarúil HF5000 gunna leictreon réimse fuar.
Córas 2.Vacuum
D'fhonn an bhíoma leictreon a sheachaint ag idirghníomhú leis an ngás roimh thaisteal tríd an sampla, ní mór an micreascóp iomlán a choinneáil faoi choinníollacha folús ard.
3. Sampla tarchurtha
Caithfidh an sampla a bheith trédhearcach, rud a chiallaíonn gur féidir leis an léas leictreon dul isteach ann, idirghníomhú leis agus íomhá teilgthe a chruthú. De ghnáth, tá tiús an tsampla sa raon nanaiméadar go dtí an fo-mhicrón. Tá an iliomad FIB sraith Helios 5 feistithe ag Quarterly chun samplaí TEM ultra-tanaí ardchaighdeáin a ullmhú.
4. Córas Tarchurtha Leictreonaic
Tá an léas leictreon dírithe trí chóras tarchurtha. Tá na lionsaí seo cosúil leo siúd a úsáidtear i micreascóip optúla, ach toisc go bhfuil tonnfhaid leictreon i bhfad níos giorra ná tonnta solais, tá dearadh agus déantúsaíocht na lionsaí níos déine.
5. Eitleán Íomhá
Tar éis dul tríd an sampla, téann an bhíoma leictreon isteach i eitleán íomhá. San eitleán seo, déantar an fhaisnéis ón léas leictreon a thiontú ina íomhá agus a ghabháil ag brathadóir.
6. Brathadóir
Is iad na brathadóirí is coitianta ná scáileáin fosfair, ceamaraí CCD (Gléas Cúpláilte Muirear) nó ceamaraí CMOS (Leathsheoltóir Comhlántach Miotail Ocsaíd). Nuair a idirghníomhaíonn bhíoma leictreon le scáileán fosfair san eitleán íomhá, déantar solas infheicthe a tháirgeadh, agus mar thoradh air sin tá íomhá réamh-mheasta den sampla, a úsáidtear go minic chun an sampla a aimsiú. Ós rud é gur gá an scáileán fosfair a úsáid i dtimpeallacht seomra dorcha, nach bhfuil éasca le húsáid, cuireann monaróirí ceamara ar thaobh an scáileáin fosfair sa lá atá inniu ann, ionas gur féidir leis an oibreoir TEM an monatóireacht a dhéanamh i dtimpeallacht oscailte chun samplaí a aimsiú. , tilt an ais téip agus oibríochtaí eile, is é an feabhas neamhfheiceálach seo mar bhunús le scaradh an mheaisín fear.
7. Foirmiú Íomhá
De réir mar a théann an léas leictreon tríd an sampla, idirghníomhaíonn sé leis na struchtúir adamhach agus criostalach laistigh den sampla, ag scaipeadh agus ag ionsú. Bunaithe ar na hidirghníomhaíochtaí seo, cruthóidh déine an léas leictreoin íomhánna ar an eitleán íomhá. Is íomhánna réamh-mheasta déthoiseach iad na híomhánna seo, ach is minic a bhíonn struchtúr inmheánach an tsampla tríthoiseach, mar sin ba cheart aird ar leith a thabhairt air seo agus faisnéis á réiteach faoi shonraí inmheánacha an tsampla.
8. Anailís agus Léiriú
Trí na híomhánna a bhreathnú agus a anailísiú, is féidir le taighdeoirí struchtúr criostail, paraiméadair laitíse, lochtanna criostail, socrú adamhach agus faisnéis microstructural eile den sampla a thuiscint. Tá foireann ghairmiúil anailíse ábhair ag Jifeng, ar féidir leo réitigh anailíse lán-phróisis agus tuarascálacha gairmiúla anailíse ábhar a sholáthar do chustaiméirí.
